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  专佳在线 >> 家电维修 >> 待继续问题 >> 磁控溅射电控故障  
  待继续问题
 磁控溅射电控故障
 电路供电,排线故障
所在地:  黑龙江.哈尔滨   提问者:迟先生   2021-9-27 19:57  
      

上一条: 电压力锅漏气是啥问题 下一条: 冰箱开门发出异响

  回答      共 1 条
  1、直流电源故障,检查直流电源;   2、氩气进气量小,检查氩气流量计或加大氩气进气量;   3、真空室清洁度不够,清洁真空室;   4、靶材绝缘度不够,检查靶是否与地短路,在通水的情况下,对地电阻应该在 50kΩ以上;   5、磁场强度不够,检查永磁体是否消磁;   6、真空度太差,检查真空系统。
回答者: 坪山区一修家电维修部 该会员回答过的问题 回答时间:10-8-19:1  


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